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迈为股份获得实用新型专利授权:“一种旋转靶靶材TM自动调整机构及镀膜设备”

汽车活动 2024-01-30 浏览() 评论(0)
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专利摘要:本申请公开了一种旋转靶靶材TM自动调整机构及镀膜设备,属于太阳能电池领域。该调整机构包括第一固定板、磁铁定位板、若干磁铁以及若干磁铁上下调整组件;第一固定板和磁铁定位板呈上下叠置设置;磁铁上下调整组件依次排列并设置在第一固定板和磁铁定位板间;磁铁依次排列并设于磁铁定位板的下方;磁铁上下调整组件和磁铁一一对应;磁铁上下调整组件的上端与第一固定板连接,下端穿过磁铁定位板后与对应的磁铁连接,通过磁铁上下调整组件带动对应的磁铁上下移动。本申请可以对磁铁的位置进行实时自动调整,从而实现对磁铁表面到旋转靶材表面距离的实时自动调整,解决了现有技术中需破真空、阻断镀膜过程的缺陷问题。

今年以来迈为股份新获得专利授权7个,较去年同期增加了250%。结合公司2023年中报财务数据,2023上半年公司在研发方面投入了2.85亿元,同比增39.56%。

数据来源:企查查

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